把全氟聚醚液用于扩散泵有很多的优点：

在与氧气、离子辐射物、亚原子微粒接触时不会发生聚合反应。整个运行系统可以避免任何分解物留下的沉淀。

不可燃性

抗氧化性 在泵运行时，热的全氟聚醚液即使多次暴露于空气中也不影响其特性。

化学稳定性 和UF6，F2，PCI3，BF3材料接触使用时，不会发生任何化学反应。

Fomblin Y HVAC液具有紧密的分子重量值，而且它的低蒸发压力可以有效控制粘度。因此在高真空条件下非常适用，也特别适用于与汽油频繁接触的系统。