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品牌:旺达康
价格:5000.00
元/L
供应地:广东省深圳市
产品型号:7N
电子级磷酸甲酯 (TMPO)
一、分子式:PO(OCH3)3
二、分子量:140.07
三、理化性质
无色液体,有水果味,熔点-46℃,沸点197℃,密度1.215g/ml。易燃,易溶于水,难溶于乙醇。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
供应半导体化学气相沉积材料,专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr DePOSTTTION /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料,TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB
Precursor,TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K
Material,TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。