电子级正硅酸四乙酯/
TEOS
名称
正硅酸四乙酯(TEOS)
化学式
C8H20O4Si
相对分子量
208.33
CAS号
78-10-4
理化性质
无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。
主要用途
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。
CVD/ALD (Chemical Vapr DePOSTTTION /Atomic
Layer Depostion )化学气相沉积材料
Dielectrics PMD/IMD
TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB
Low K Dielectrics
4MS ,OMCATS
High K Dielectrics
TAETO (Ta2O5 Precursor )
TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor)
TMA (Al2O3 Precursor)
Metal Gate and Interconnect Metal
TDMAT (TiN Precursor )
TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )
Low-Temp Nitride/Oxide
HCDS
Diffusion
POCl3
供应半导体化学气相沉积材料，专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr DePOSTTTION /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB
Precursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K
Material，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。
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09
2021
我司销售电子级正硅酸四乙酯TEOS 电子级TEOS
来源:[深圳市旺达康新材料有限公司]
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产品型号：8N
