电子级三氯氧磷
一、分子式：POCl3
二、分子量：153.35
三、理化性质:
无色透明挥发性液体，具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中，生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃，沸点为102℃，相对密度为1.675。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时，仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。
四、用途:
主要用于芯片的N型掺杂，是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源，是芯片制程中必须的电子化学品，同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。
五、质量指标:
分析项目
技术指标（ppb）
分析项目
技术指标（ppb）
6N
7N
6N
7N
As,max
30
6
Mg,max
20
5
Ba,max
20
1
Mn,max
30
1
Ca,max
30
5
Ni,max
20
1
Co,max
20
1
Pb,max
10
3
Cu,max
20
2
Sr,max
5
1
Cr,max
20
1
Ti,max
5
2
Fe,max
40
5
Zn,max
5
1
Al,max
40
5
K,max
30
3
Ag,max
1
1
Li,max
10
6
Au,max
1
1
Na,max
10
5
Bi,max
10
1
Nb,max
2
1
Ga,max
1
1
Sn,max
5
1
Hg,max
10
5
含量,min
99.9%
99.9%
色度,max
5
5
颗粒物,Size,#/ml
≥0.3um, 50max
≥0.3um, 50max
六、包装
容 器：石英玻璃源瓶或内衬PFA材料钢桶。
外包装：容器外套厚质PVC塑料袋；PE塑料专用箱内置海绵缓冲垫。
10
12
2021
国内工厂生产供应超高纯电子级三氯氧磷 电子级POCl3 超高纯三氯氧磷
来源:[深圳市旺达康新材料有限公司]
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价格：3000.00
元/公斤
供应地：广东省深圳市
产品型号：超高纯电子级三氯氧磷POCl3
